https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/297849
標題: | Electrical characteristics of ultrathin Pt/Y 2 O 3/Si capacitor with rapid post-metallisation annealing | 作者: | Lay, TS Liu, WD Kwo, J Hong, M Mannaerts, JP MINGHWEI HONG |
公開日期: | 2002 | 卷: | 38 | 期: | 24 | 起(迄)頁: | 1594-1596 | 來源出版物: | Electronics Letters | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/297849 |
顯示於: | 應用物理研究所 |
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