https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/304309
標題: | Thick and Thermally Isolated Si Microheaters for Microfabricated Preconcentrators | 作者: | W. -C. Tian S. W. Pang WEI-CHENG TIAN |
公開日期: | 一月-2003 | 卷: | 21 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | 274-279 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/304309 | DOI: | 10.1116/1.1539065 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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