https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/362678
標題: | Line stitching in servo-assisted electron beam lithography system | 作者: | Yen, J.-Y. Chen, L.-S. Chiu, P. JIA-YUSH YEN |
公開日期: | 2011 | 起(迄)頁: | 397-402 | 來源出版物: | IEEE/ASME International Conference on Advanced Intelligent Mechatronics, AIM | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-80053979240&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/362678 |
DOI: | 10.1109/AIM.2011.6027026 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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