https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/404523
標題: | CVD chamber design to improve deposition quality in both 300- and 450- mm wafers with 3D-chamber modeling and experimental visual technique | 作者: | M. H.Liao C.-H. Chen S.-C. Kao M.-C. Huang |
公開日期: | 2013 | 來源出版物: | e-Manufacturing & Design Collaboration Symposium | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/404523 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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