https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/445436
標題: | Polishing effect of the plasma on the growth of YBa2Cu3O7-delta films by radio frequency sputtering | 作者: | Chou, H. Lin, P. I. Hsu, C. C. Chow, T. C. Hong, M. T. Chen, Y. C. Liu, J. R. JERRY CHENG-CHE HSU |
公開日期: | 2002 | 卷: | 20 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 441-446 | 來源出版物: | Journal of Vacuum Science & Technology a-Vacuum Surfaces and Films | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/445436 | ISSN: | 0734-2101 | DOI: | 10.1116/1.1450579 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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