https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447821
標題: | Shearing interference microscope for step-height measurements | 作者: | Tr?nh, H.-X. Lin, S.-T. Chen, L.-C. Yeh, S.-L. Chen, C.-S. Hoang, H.-H. LIANG-CHIA CHEN |
公開日期: | 2017 | 卷: | 266 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 178-185 | 來源出版物: | Journal of Microscopy | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447821 | DOI: | 10.1111/jmi.12527 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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