https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486858
標題: | Capacitive micro pressure sensors with underneath readout circuit using a standard CMOS process | 作者: | Chang, S.-C. Dai, C.-L. Chiou, J.-H. PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 2001 | 卷: | 4334 | 起(迄)頁: | 336-344 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/486858 | DOI: | 10.1117/12.436619 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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