https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/584690
標題: | Study on the fabrication of CMOS-MEMS and the computer-aided MEMS design | 作者: | Cheng, Y.-C. Lee, C.-Y. Chang, P. Z. Chen, Ping-Hei PING-HEI CHEN |
公開日期: | 2005 | 卷: | 91 | 起(迄)頁: | P.21-P.32 | 來源出版物: | Bulletin of the College of Engineering, N. T. U | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/584690 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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