https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/586248
標題: | Parameters Analysis of Chemical Mechanical Polishing: An Investigation based on the Pattern Planarization Model | 作者: | Chen, Dar-Zen Lee, Bor-Shin DAR-ZEN CHEN |
公開日期: | 1999 | 卷: | 146 | 期: | 9 | 起(迄)頁: | 3420-3424 | 來源出版物: | Journal of the Electrochemical Society | URI: | http://jes.ecsdl.org/content/146/2/744.full.pdf https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/586248 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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