https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587646
標題: | 化學機械拋光鑽石修整器修整率模式與工業上的應用 | 作者: | 楊宏智 鄭偉祥 陳鯤仁 蕭啟明 HONG-TSU YOUNG |
公開日期: | 2008 | 起(迄)頁: | 19-23 | 來源出版物: | 第25屆全國機械工程研討會 | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/587646 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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