https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/65891
標題: | Surface integrity of silicon wafers in ultra precision machining | 作者: | Young, H.T. Liao, H.T. Huang, H.Y. YoungHT |
公開日期: | 2004 | 期: | 29 | 起(迄)頁: | 372-378 | 來源出版物: | International Journal of Advanced Manufacturing Technology | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/86444 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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