https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/68263
標題: | Computational Study of the Effect of Finger Width and Aspect Ratios for the Electrostatic Levitating Force of MEMS Combdrive | 作者: | Liao, Y.S. Chyuan, S,W. Chen, J.T. LiaoYS |
公開日期: | 2005 | 卷: | 14 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 305-312 | 來源出版物: | Journal of Microelectromechanical Systems | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/86977 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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