https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/70010
標題: | Interfacial Reactions of r.f-Sputtered TiNi Thin Film on (100) Silicon with SiN Diffusion-Barrier | 作者: | Wu, S.K. Su, J.J. Wang, J.Y. |
公開日期: | 十二月-2004 | 期: | 84 | 起(迄)頁: | 1209-1218 | 來源出版物: | Philosophical Magazine A | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/222114 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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