https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/79817
標題: | Novel Method for In-Situ Monitoring of Thickness of Silicon Wafer during Wet Etching | 作者: | Lee, Chi-Yuan Chang, Pei-Zen Chen, Yung-Yu Dai, Ching-Liang Wang, Xuan-Yu Chen, Ping-Hei Lee, Shuo-Jen |
公開日期: | 五月-2006 | 卷: | 18 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 71-82 | 來源出版物: | Sensors and Materials | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/106996 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
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