https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/82607
標題: | Piezoelectric MEMS generators fabricated with an aerosol deposition PZT thin film | 作者: | Lee, B S Lin, S C Wu, W J Wang, X Y Chang, P Z WEN-JONG WU CHIH-KUNG LEE PEI-ZEN CHANG |
公開日期: | 五月-2009 | 起(迄)頁: | 65014 | 來源出版物: | Journal of Micromechanics and Microengineering | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/218170 | DOI: | 10.1088/0960-1317/19/6/065014 |
顯示於: | 應用力學研究所 |
檔案 | 描述 | 大小 | 格式 | |
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Piezoelectric MEMS generators fabricated with+an aerosol deposition PZT thin film.pdf | 1.11 MB | Adobe PDF | 檢視/開啟 |
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