公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | scopus | WOS | 全文 |
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2007 | A low actuation voltage electrostatic actuator for RF MEMS switch applications | Chu, C.-H.; Shih, W.-P.; Chung, S.-Y.; Tsai, H.-C.; Shing, T.-K.; Chang, P.-Z.; Shih, Wen-Pin ; PEI-ZEN CHANG | Journal of Micromechanics and Microengineering |