公開日期 | 標題 | 作者 | 來源出版物 | scopus | WOS | 全文 |
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2000 | Effect of carbon sources on silicon carbon nitride films growth in an electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition reactor | Wu, J. J.; Chen, K. H.; Wen, C. Y.; Chen, L. C.; Guo, X. J.; Lo, H. J.; Lin, S. T.; Yu, Y. C.; Wang, C. W.; SHIANG-TAI LIN ; CHENG-YEN WEN ; LI-CHYONG CHEN | Diamond and Related Materials | 14 | 15 |