Project title/計畫英文名
發展電子束微影技術與聚焦離子束技術於製作三維微結構
Project Number/計畫編號
102-2221-E-002-151-MY3
Translated Name/計畫中文名
發展電子束微影技術與聚焦離子束技術於製作三維微結構
Project Principal Investigator/計畫主持人
CHIEH-HSIUNG KUAN
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2013
Expected Completion/計畫迄
31-07-2014