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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
A尺度結構與能譜檢測技術開發:電子與光子顯微術前沿-A尺度高速掃描穿透式電子顯微能譜分析:突破半導體製程環境雜訊障礙(1/2)
A尺度結構與能譜檢測技術開發:電子與光子顯微術前沿-A尺度高速掃描穿透式電子顯微能譜分析:突破半導體製程環境雜訊障礙(1/2)
Details
Primary Data
Project title
A尺度結構與能譜檢測技術開發:電子與光子顯微術前沿-A尺度高速掃描穿透式電子顯微能譜分析:突破半導體製程環境雜訊障礙(1/2)
Internal ID
110-2119-M-002-010-MBK
Principal Investigator
MING-WEN CHU
Start Date
May 1, 2021
End Date
April 30, 2022
Organizations
Center for Condensed Matter Sciences
Partner Organizations
National Science and Technology Council