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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
具不同高度差之晶圓在化學機械研磨中的研磨參數效應
Details
具不同高度差之晶圓在化學機械研磨中的研磨參數效應
Journal
中國機械工程學會第十五屆學術研討會論文集,新興工程技術
Pages
p. 133-139
Date Issued
1998
Author(s)
李柏勳
陳達仁
URI
https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/586205
Type
conference paper