https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/586205
標題: | 具不同高度差之晶圓在化學機械研磨中的研磨參數效應 | 作者: | 李柏勳 陳達仁 DAR-ZEN CHEN |
公開日期: | 1998 | 起(迄)頁: | p. 133-139 | 來源出版物: | 中國機械工程學會第十五屆學術研討會論文集,新興工程技術 | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/586205 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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