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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
應用微機電技術在電化學三維微機構加工之研究(2/2)
Details
應用微機電技術在電化學三維微機構加工之研究(2/2)
Date Issued
2003
Date
2003
Author(s)
張所鋐
DOI
912218E002016
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15857
Abstract
在微機電系統(MEMS)上立體微機構 製造是發展重點之一，目前在微機電系統 設計上最常被使用之立體微加工是非等向 性蝕刻(Anisotropy etching)，不過此方法很 困難製作任意形狀的立體微機構。 過去已有研究出很多方法製作立體微 機構，其中之微影加工技術是利用紫外線 光線照在光阻產生變化，使得顯影作用於 光阻劑的局部範圍。這些作用於微米範圍 組合而成立體結構之加工技術稱為立體微 影加工技術。 本研究採用之立體微影加工是由紫外 線聚焦系統及精密定位系統組成。聚焦系 統採用顯微鏡聚焦系統，精密定位系統為 自行研發之奈米精密定位系統。 立體微影加工之主要因素有光阻反應 的波長、紫外線光波長、聚焦面積及光強 度。目標為傳統微機電加工難以達成之三 維微結構加工，未來實現三維次微米及三 維奈米結構。
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Subjects
微機電系統
立體微影加工技術
紫外線光
光阻劑
顯影
顯微鏡
光纖
奈米精密定位
三維微結構
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
File(s)
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Name
912218E002016.pdf
Size
198.66 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):911914b54bd6d5049c383156b8910045
