結合臭氧及生物方法處理半導體廠有機廢水之可行性評估

本研究主要探討結合高級氧化及生物方法處理實廠半導體有機廢水之可行
性。首先分析廢水之特性，包含廢水之各項水質濃度、廢水之高級氧化特性及生
物分解性，水質分析結果顯示此廢水之COD 值最高約為26000 mg/L，重金屬含
量大部分在偵測極限以下，而氮與磷的含量不高，若以生物方法處理此廢水時，
則需外加氮源及磷源。單獨以高級氧化及生物方法對此廢水之降解效果並不佳，
經2 小時之臭氧及臭氧/紫外線氧化反應其COD 去除率只有20%左右。以未馴養
之污泥進行生物降解，於72 小時內COD 去除率只達10%;若改以馴養污泥，
則可提升至37%左右。
在結合臭氧及生物方法之實驗結果中，發現將原廢水先經預臭氧處理後之生物降解，其COD 降解效率由未馴養污泥的10%提高至16%，及馴養污泥的37%
提升到52%，由此可見臭氧反應可提升廢水之生物分解性。在連續流反應槽實驗
中， 發現經由預臭氧水馴養之生物污泥， 控制COD 負荷於0.615 Kg
COD/MLSS·day 下，COD 有52.8%降解效率;收集生物反應槽出流水再經臭氧
氧化反應更可將生物無法分解有機物作更進一步氧化，其COD 去除率達40%以
上成效。故該廢水以預臭氧輔以生物處理，出流水再經一次臭氧氧化之處理流
程，其總COD 去除可達80%以上之效率，應為一種可行之處理流程。