Phase and thickness dependence of thermal diffusivity in a-SiCxNy and a-BCxNy

Journal
Thin Solid Films
Journal Volume
420
Pages
205-211
Date Issued
2002
Author(s)
Chattopadhyay, S.
Chen, L. C.
Chien, S. C.
Lin, S. T.
Wu, C. T.
Chen, K. H.
DOI
URI
Type
journal article

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To permanently archive and promote researcher profiles and scholarly works, Library integrates the services of “NTU Repository” with “Academic Hub” to form NTU Scholars.

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