https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/445761
標題: | Phase and thickness dependence of thermal diffusivity in a-SiCxNy and a-BCxNy | 作者: | Chattopadhyay, S. Chen, L. C. Chien, S. C. Lin, S. T. Wu, C. T. Chen, K. H. SHIANG-TAI LIN |
公開日期: | 2002 | 卷: | 420 | 起(迄)頁: | 205-211 | 來源出版物: | Thin Solid Films | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/445761 | ISSN: | 0040-6090 | DOI: | 10.1016/S0040-6090(02)00747-2 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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