https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/155910
標題: | Reliability Improvement of Rapid Thermal Oxide Using Gas Switching | 作者: | Lee, Min Hung Yu, Cheng-Ya Yuan, Fon Chen, K.-F. Lai, Chang-Chi Liu, Chee Wee |
公開日期: | 2003 | 卷: | 16 | 期: | 4 | 起(迄)頁: | 656-659 | 來源出版物: | IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/148192 http://ntur.lib.ntu.edu.tw/bitstream/246246/148192/1/36.pdf |
DOI: | 10.1109/TSM.2003.818982 |
顯示於: | 電機工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。