https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/155915
標題: | Ultra-thin Cr2O3 well-crystallized films for high transmittance APSM in ArF line | 作者: | Lai, F. D. Huang, C. Y. Chang, C. M. Wang, L. A. Cheng, W. C. |
公開日期: | 2003 | 起(迄)頁: | 17-23 | 來源出版物: | Microelectronic Engineering 67-68: | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/148197 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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