https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/182041
標題: | New CVD Precursors Capable of Depositing Copper Metal under Mixed O2/Ar Atmosphere | 作者: | Lay, Eddy Song, Yi-Hwa Chiu, Yuan-Chieh Lin, Yang-Miin Chi, Yun Carty, Arthur J. Peng, Shie-Ming Lee, Gene-Hsiang |
公開日期: | 2005 | 來源出版物: | ChemInform | URI: | http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/168245 | DOI: | 10.1002/chin.200550212 |
顯示於: | 化學系 |
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