https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302110
標題: | In-situ monitoring of thickness of quartz membrane during batch chemical etching using a novel micromachined acoustic wave sensor | 作者: | Lee, C.-Y. PING-HEI CHEN |
公開日期: | 2003 | 起(迄)頁: | 993-1000 | 來源出版物: | Annual IEEE International Frequency Control Symposium | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-12144290037&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/302110 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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