https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/333763
標題: | Impacts of optical proximity correction settings on electrical performances | 作者: | Meng-Fu You Philip C. W. Ng Yi-Sheng Su Kuen-Yu Tsai Yi-Chang Lu YI-CHANG LU KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 三月-2007 | 起(迄)頁: | 65210W | 來源出版物: | Advanced Lithography 2007 - Proc. SPIE | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/333763 | DOI: | 10.1117/12.711850 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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