https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/341077
標題: | Electron energy loss spectrum application for failure mechanism investigation in semiconductor failure analysis | 作者: | Lin, K. Chao, C.H. Huang, T.-H. Fan, H.-M. Lu, S.-S. SHEY-SHI LU |
公開日期: | 2008 | 起(迄)頁: | 589-592 | 來源出版物: | IEEE International Reliability Physics Symposium | URI: | http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-51549097779&partnerID=MN8TOARS http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/341077 |
DOI: | 10.1109/RELPHY.2008.4558950 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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