https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/359314
標題: | Analysis of fabrication misalignment effects in a MEMS-based electron-optical system design for direct-write lithography | 作者: | Sheng-Yung Chen Chieh-Chien Huang Shin-Chuan Chen Ting-Han Pei Kuen-Yu Tsai KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 六月-2010 | 起(迄)頁: | 2-9 | 來源出版物: | The 54th International Conference on Electron, Ion, and Photon Beam Technology and Nanofabrication | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/359314 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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