https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/374084
標題: | Architecture and EOS Design Flow of a Multiple-Electron-Beam–Direct-Write System Considering Patterning Fidelity, Breakdown Effect | 作者: | Sheng-Yung Chen Shiau-Yi Ma Kuen-Yu Tsai KUEN-YU TSAI |
公開日期: | 九月-2012 | 起(迄)頁: | O-LITH II-581 | 來源出版物: | 38th International Micro & Nano Engineering Conference (MNE 2012) | URI: | http://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/374084 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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