https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/404484
標題: | Local stress determination in Shallow Trench Insulator structures with one-side and two-sides Pad-SiN layer by polarized micro-Raman spectroscopy extraction and mechanical modelization | 作者: | Liao, M.H. Chang, L.C. |
公開日期: | 2011 | 起(迄)頁: | 3518-3522 | 來源出版物: | 2011 International Semiconductor Device Research Symposium | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/404484 | DOI: | 10.1109/ISDRS.2011.6135349 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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