https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/407842
標題: | Age-based double EWMA controller and its application to a CMP process | 作者: | Chen, A. Guo, R.-S. |
公開日期: | 2000 | 起(迄)頁: | 261-276 | 來源出版物: | Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85056912945&partnerID=40&md5=7c2c22f2a70718d3cf151f4e8bead742 https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/407842 |
顯示於: | 工商管理學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。