https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/409166
標題: | Fluorocarbon Films Deposited by c-C4F8/N2/Ar Plasmas: The Effect of N2-addition on Gas Phase Kinetics and Surface Chemistry | 作者: | P. K. Kao C. C. Hsu |
公開日期: | 2013 | 會議論文: | AVS 60th International Symposium, Long Beach, CA, USA, Oct, 2013.AVS | 描述: | Poster |
URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/409166 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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