https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/429524
標題: | Atmospheric pressure plasma jet assisted synthesis of zeolite-based low-k thin films | 作者: | K.-Y. Huang H.-Y. Chi P.-K. Kao F.-H. Huang Q.-M. Jian I-C. Cheng W. Lee C.-C. Hsu D.-Y. Kang Kang D.-Y. Hsu C.-C. |
公開日期: | 2018 | 卷: | 10 | 期: | 1 | 起(迄)頁: | 15108 | 來源出版物: | ACS Applied Materials & Interfaces | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/429524 | ISSN: | 19448244 | DOI: | 10.1021/acsami.7b16410 |
顯示於: | 光電工程學研究所 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。