https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/429857
標題: | A comprehensive model for sub-10nm electron-beam patterning through the shorttime and cold development | 作者: | Li-Cheng Chang Chun Nien Jia-Hao Ye Cheng-Huan Chung Vin-Cent Su Chao-Hsin Wu Chieh-Hsiung Kuan CHAO-HSIN WU |
公開日期: | 2017 | 卷: | 28 | 期: | 42 | 起(迄)頁: | 2343-2356 | 來源出版物: | Nanotechnology | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/429857 | DOI: | 10.1088/1361-6528/aa8005 |
顯示於: | 電機工程學系 |
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