https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/433220
標題: | The effects of annealing and wake-up cycling on the ferroelectricity of zirconium hafnium oxide ultrathin films prepared by remote plasma atomic layer deposition | 作者: | Hsu T.-Y. Kuo C.-L. Lin B.-T. Shieh J. TZONG-LIN JAY SHIEH CHIN-LUNG KUO MIIN-JANG CHEN |
公開日期: | 2019 | 出版社: | Institute of Physics Publishing | 卷: | 28 | 期: | 8 | 來源出版物: | Smart Materials and Structures | URI: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?eid=2-s2.0-85070826086&doi=10.1088%2f1361-665X%2fab23c3&partnerID=40&md5=a0a3b0c9ef4c7cc99e4b4671f90fc3da https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/433220 |
ISSN: | 09641726 | DOI: | 10.1088/1361-665X/ab23c3 |
顯示於: | 材料科學與工程學系 |
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