https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/445422
標題: | Comparison of model and experiment for Ar, Ar/O<inf>2</inf> and Ar/O <inf>2</inf>/Cl<inf>2</inf> inductively coupled plasmas | 作者: | Hsu, C.-C. Nierode, M.A. Coburn, J.W. Graves, D.B. JERRY CHENG-CHE HSU |
公開日期: | 2006 | 卷: | 39 | 期: | 15 | 起(迄)頁: | 3272-3284 | 來源出版物: | Journal of Physics D: Applied Physics | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/445422 | DOI: | 10.1088/0022-3727/39/15/009 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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