https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/445762
標題: | Bonding characterization, density measurement, and thermal diffusivity studies of amorphous silicon carbon nitride and boron carbon nitride thin films | 作者: | Chattopadhyay, S. Chen, L. C. Chien, S. C. Lin, S. T. Chen, K. H. SHIANG-TAI LIN |
公開日期: | 2002 | 卷: | 92 | 期: | 9 | 起(迄)頁: | 5150-5158 | 來源出版物: | Journal of Applied Physics | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/445762 | ISSN: | 0021-8979 | DOI: | 10.1063/1.1512966 |
顯示於: | 化學工程學系 |
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