https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447180
標題: | On the design of the latch mechanism for wafer containers in a SMIF environment | 作者: | Lee, J.-J. Chen, D.-Z. Pai, W.-M. JYH-JONE LEE DAR-ZEN CHEN |
公開日期: | 2006 | 卷: | 20 | 期: | 12 | 起(迄)頁: | 2025-2033 | 來源出版物: | Journal of Mechanical Science and Technology | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447180 | DOI: | 10.1007/BF02916319 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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