https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447517
標題: | Compact MEMS/NEMS characterization platform using a DVD optical pick-up unit with optical imaging function | 作者: | Chen, C.-H. Larsen, P.E. Schmid, S. Liao, H.-S. Huang, K.-Y. Hwang, I.-S. Boisen, A. Hwu, E.-T. HSIEN-SHUN LIAO |
公開日期: | 2013 | 卷: | 2 | 起(迄)頁: | 485-488 | 來源出版物: | 2013 NSTI Nanotechnology Conference and Expo | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447517 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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