https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447794
標題: | Analysis and design of flow field for precursor feeding in a PECVD system | 作者: | Tsai, H.W. Yang, K.H. Pan, K.L. KUO-LONG PAN |
公開日期: | 2015 | 來源出版物: | 2015 IFToMM World Congress | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447794 | DOI: | 10.6567/IFToMM.14TH.WC.PS3.003 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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