https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447829
標題: | Newton interferometer with phase-shifting and phase-scanning measurement modes | 作者: | Tr?nh, H.-X. Lin, S.-T. Chen, L.-C. Yeh, S.-L. Hoang, H.-H. LIANG-CHIA CHEN |
公開日期: | 2015 | 卷: | 234 | 起(迄)頁: | 188-194 | 來源出版物: | Sensors and Actuators, A: Physical | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447829 | DOI: | 10.1016/j.sna.2015.09.001 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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