https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447837
標題: | In-situ volumetric topography of IC chips for defect detection using infrared confocal measurement with active structured light | 作者: | Chen, L.-C. Le, M.-T. Phuc, D.C. Lin, S.-T. LIANG-CHIA CHEN |
公開日期: | 2014 | 卷: | 25 | 期: | 9 | 來源出版物: | Measurement Science and Technology | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447837 | DOI: | 10.1088/0957-0233/25/9/094013 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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