https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447850
標題: | Spectrally resolved chromatic confocal interferometry for one-shot nano-scale surface profilometry with several tens of micrometric depth range | 作者: | Chen, L.-C. Chen, Y.-S. Chang, Y.-W. Lin, S.-T. Yeh, S.L. LIANG-CHIA CHEN |
公開日期: | 2013 | 卷: | 8759 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447850 | DOI: | 10.1117/12.2015027 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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