https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447878
標題: | Dynamic out-of-plane profilometry for nano-scale full-field characterization of MEMS using stroboscopic interferometry with novel signal deconvolution algorithm | 作者: | Chen, L.-C. Huang, Y.-T. Nguyen, X.L. Chen, J.-L. Chang, C.-C. LIANG-CHIA CHEN |
公開日期: | 2009 | 卷: | 47 | 期: | 2 | 起(迄)頁: | 237-251 | 來源出版物: | Optics and Lasers in Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447878 | DOI: | 10.1016/j.optlaseng.2008.05.016 |
顯示於: | 機械工程學系 |
在 IR 系統中的文件,除了特別指名其著作權條款之外,均受到著作權保護,並且保留所有的權利。