https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447887
標題: | Dynamic out-of-plane profilometry for nano-scale full field characterization of MEMS with automatic detection of vibratory modes and MHz-scale measurement bandwidth | 作者: | Chen, L.-C. Lai, H.-W. Chang, C.C. Huang, Y.-T. Chen, J.-L. LIANG-CHIA CHEN |
公開日期: | 2006 | 卷: | 6382 | 來源出版物: | Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447887 | DOI: | 10.1117/12.685976 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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