https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447957
標題: | Erratum: The novel chamber hardware design to improve the thin film deposition quality in both 12″ (300 mm) and 18″ (450 mm) wafers with the development of 3D full chamber modeling and experimental visual technique; (AIP Advances (2013) 3:7 (072117)) | 作者: | Liao, M.-H. MING-HAN LIAO |
公開日期: | 2015 | 卷: | 5 | 期: | 4 | 來源出版物: | AIP Advances | URI: | https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/447957 | ISSN: | 21583226 | DOI: | 10.1063/1.4918681 |
顯示於: | 機械工程學系 |
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